欢迎来到河源市金源气体有限公司! 

河源市金源气体有限公司

                 诚信   创建未来

联系电话

135-6098-6666

135-0012-6000

河源气体公司,工业高纯气体,高纯气体
您当前的位置 : 首 页 > 产品中心 > 其他化工类气体

四氟化碳(工业高纯气体)

2022-12-07 18:49:49
四氟化碳(工业高纯气体)
详细介绍:

四氟化碳是一种卤代烃,化学式CF4。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。零下198 °C时,四氟化碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。

用途

1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

2.是微电子工业中用量DA的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术 。



上一篇:没有了

近期浏览:

联系我们

电话:135-0012-6000  135-6098-6666

网址:www.jinyuangas.cn

地址:河源市江东新区东江金珠工业园高望地段

气体业务联系

手机站